（德國之聲中文網）美國媒體《訊息報》（The Information ）本周一（7月27日）援引兩名不具名知情人士稱，一家總部位於上海的企業已啟動浸沒式深紫外（DUV）光刻機的小規模批量生產，預計今年內向中芯國際、華虹半導體及長鑫存儲等主要晶片製造商交付首批約5台設備，2027年產量計畫提升至約20台。這款中國產光刻機主打28納米晶片生產，還可滿足7納米級別晶片的製造需求。